胶囊年报丨中微公司去年净利润增长161%，刻蚀设备收入增长近6成

编者按：上市公司年报披露即将进入密集期，两市尚有3400余家上市公司年报”候场“，将集中在未来一个月内披露。为了让投资者能在年报披露后快速掌握年报核心信息，21世纪经济报道记者以年报信息为基础，以市值为基本指标，以科创板公司为试点，尝试对部分公司年报进行“脱水”。截至目前，科创板共有248家上市公司，行业细分程度，企业差异化更趋明显，“胶囊年报”系列重在撷取和提炼公司最显著变化和市场关注焦点，力图在第一时间对年报信息进行”压缩“，以增进市场对公司了解。本期聚焦的是半导体设备制造商中微公司。

全球芯片缺货潮引发晶圆厂大力扩张产能，上游芯片设备制造商被认为市场前景最为广阔。

3月30日晚间，中微公司（688012.SH）发布2020年报显示，公司营业收入为22.73亿元，同比增长16.76%，实现归属于上市公司股东的净利润4.92亿元，比上年增长161.02%。

其中，受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，公司2020年刻蚀设备收入为12.89亿元，同比增长约58.49%。

看点一：刻蚀设备运用在5纳米芯片生产线

在逻辑集成电路制造环节，公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5纳米、5纳米以下器件中若干关键步骤的加工；同时，公司根据先进集成电路厂商的需求持续进行设备开发和工艺优化。

在3DNAND芯片制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层和128层的量产，电感性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层的量产，同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽比的刻蚀设备和工艺，公司也根据逻辑器件客户的需求，正在开发更先进刻蚀应用的设备。

总的来看，在刻蚀设备方面，全球刻蚀设备市场呈现垄断格局，泛林半导体、东京电子、应用材料占据主要市场份额；公司刻蚀设备已应用于全球先进的7纳米和5纳米集成电路加工制造生产线。虽然公司在主要客户的市场占有率稳步提升，但目前在销售规模上与全球巨头尚有差距。

看点二：用于MiniLED生产的MOCVD设备开始生产验证

LED外延片主要通过MOCVD单种设备实现。在MOCVD设备领域，公司MOCVD设备已在行业领先客户生产线上大规模投入量产，持续保持在行业内的领先地位。

不过，由于市场原因，公司2020年MOCVD设备收入为4.96亿元，同比下降约34.47%。

照明目前依然是LED行业发展需求最大的应用市场。在MiniLED背光及直接显示市场需求的推动下，近两年高端显示类的LED外延片需求量增加明显。基于MicroLED的高端显示应用也开始小规模试生产，预计在未来几年将会有更多的市场需求。公司用于MiniLED生产的MOCVD设备的研发工作进展顺利，已有设备在领先客户端开始进行生产验证，此外，制造MicroLED等应用的新型MOCVD设备也正在开发中。

看点三：研发占比近三成

公司始终保持大额的研发投入和较高的研发投入占比，报告期内研发投入达到6.40亿元，占营业收入的比重为28.14%。

若剔除股份支付费用的影响，2020年全年研发投入总额为5.91亿元，较2019年的研发投入总额增长39.16%，这主要是由于本期用于研究开发新的工艺，主要包括存储器刻蚀的CCP和ICP刻蚀设备、Mini-LED大规模生产的高输出量MOCVD设备、Micro-LED应用的新型MOCVD设备等。

公司拥有多项自主知识产权和核心技术，截至2020年12月31日，公司已申请1,755项专利，其中发明专利1,517项；已获授权专利1,092项，其中发明专利917项。

看点四：股权激励1.24亿元

为了创新激励机制，中微公司以第二类限制性股票和股票增值权分别对公司员工及高管进行激励。

2020年归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润较上年同期减少84.19%，主要系公司2020年因实施股权激励计划产生股份支付费用约1.24亿元(属于经常性损益)，2019年无该类费用发生。

（作者：张赛男 编辑：朱益民）